Investigasi Peran Gugus Hidroksil Untuk Reaksi Deposisi ZnO Pada Permukaan Silikon Menggunakan Kalkulasi DFTNaufal Dzaki / Vera Khoirunisa, S.Si., M.T. / Teknik Fisika, 2025Density Functional Theory (DFT) memungkinkan studi reaktivitas permukaan material secara efisien, terutama pada proses Atomic Layer Deposition (ALD). Reaktivitas permukaan dipengaruhi oleh interaksi elektron dengan molekul reaktan, di mana gugus hidroksil (-OH) menciptakan situs aktif untuk meningka... |