Pengaruh Kecepatan Putar Pada Metode Spin Coating Terhadap Struktur dan Sifat Listrik Lapisan Tipis ZnO:Cu Sebagai Fotodetektor
Seng Oksida (ZnO) yaitu semikonduktor dengan celah pita sekitar 3,37 eV dan mempunyai struktur kristal wurtzite hexsagonal. Material ini sering digunakan pada beberapa aplikasi seperti fotodetektor, mikroelektronik, optoelektronik. ZnO yang diberikan doping tembaga (Cu) dapat mempengaruhi struktur dan sifat optik pada lapisan tipis. Metode spin coating banyak digunakan untuk fabrikasi lapisan tipis ZnO, namun masih dibutuhkan penelitian lebih lanjut seperti kecepatan pada spin coating yang dapat mempengaruhi hasil sampel. Penelitian ini dilakukan untuk mengetahui pengaruh kecepatan putar terhadap struktur dan sifat optik lapisan tipis ZnO:Cu. Kecepatan putar yang digunakan sebesar 1000 rpm, 3000 rpm, 5000 rpm, dan 7000 rpm. Lapisan tipis dikarakterisasi dengan X-ray diffraction (XRD) dan spektofotometer Uv-Vis. Struktur kristal yang didapat pada lapisan tipis ini adalah wurtzite hexsagonal dengan parameter kisi a = 3,2374 Å,dan c = 5,2228 Å dengan indeks miller (100), (002), dan (101). Sudut yang terbentuk dari masing-masing puncak tersebut adalah 32,14⁰, 34,81⁰, dan 36,59⁰. Nilai transmitan rata-rata pada lapisan tipis adalah 75,44
URI
https://repo.itera.ac.id/depan/submission/SB2309210020
Keyword