View/Open

Author
Nanang, Faddilah

Advisor
Dr. Eng. Lukman , Nulhakim, S.Si., M.T
Dr. Eka, Nurfani, S.Si., M.Si.

Koleksi
Teknik Fisika

Publisher

Penelitian ini bertujuan menyelidiki pengaruh konsentrasi doping Al pada sensor gas berbasis ZnO. Lapisan tipis ZnO:Al difabrikasi menggunakan metode Chemical Bath Deposition (CBD) dengan variasi doping Al : 0 at.%, 1 at.%, 2 at.%, dan 3 at.%. Kemudian sampel dikarakterisasi dengan Ultraviolet Visible (UV-vis) Spectrophotometer, X-Ray Diffraction (XRD), Scanning Electron Microscopy (SEM), Hall effect measurement system, dan pengujian sensor Liquid Petroleum Gas (LPG). Hasil karakterisasi UV-Vis menunjukkan absorpsi tertinggi disekitar panjang gelombang 365 nm untuk seluruh sampel. Optical band gap meningkat seiring dengan bertambahnya doping Al yaitu berkisar 3,27 eV-3,35 eV. Selanjutnya, hasil analisis XRD menunjukkan telah terbentuk struktur ZnO heksagonal wurtzite yang bersesuaian dengan standar JCPDS No:00-036-1451. Ukuran kristal untuk sampel ZnO Al 0 at.%, Al 1 at.%, Al 2 at.%, dan Al 3 at.

URI
https://repo.itera.ac.id/depan/submission/SB2208160011

Keyword