Pengaruh Doping Cu terhadap Sifat Listrik Lapisan Tipis NiO
Sensor gas berbasis semikonduktor telah banyak dikembangkan untuk mendeteksi
kebocoran gas dalam suatu ruang, sehingga insiden merugikan seperti kebakaran
akibat ledakan gas dapat dicegah. Liquefied Petroleum Gas (LPG) merupakan salah
satu jenis gas yang banyak digunakan masyarakat namun berindikasi menyebabkan
kebakaran. Pada penelitian ini, lapisan tipis NiO dan NiO:Cu telah berhasil
ditumbuhkan diatas substrat ITO dengan menggunakan metode sederhana spray
pyrolysis sebagai sensor gas LPG. Penumbuhan ini dilakukan dengan suhu deposisi
450°C dalam kurun waktu penyemprotan 1,5 menit. Adapun nilai ukuran kristal,
struktur kristal, jarak antar kristal, parameter kisi, dan fasa material dapat diketahui
dengan karakterisasi Difraksi Sinar-X (XRD). Sifat optik material diukur dengan
karakterisasi Spektofotometri UV-Vis, dan sifat listrik diukur dengan Uji
Karakterisasi I-V. Dari hasil karakterisasi XRD diketahui fasa NiO adalah kubik
dengan nilai Indeks Miller (111) pada posisi 2
URI
https://repo.itera.ac.id/depan/submission/SB2201120005
Keyword