(0721) 8030188    pusat@itera.ac.id   

[FISIKA - 2019] Penumbuhan dan Karakterisasi Film Tipis ZnO:Cu (CZO) dengan Metode Spray Pyrolysis Sederhana Sebagai Fotodetektor UV


Zinc Oxide (ZnO) merupakan material semikonduktor yang ideal diaplikasikan pada optoelektronik seperti fotodetektor karena memiliki celah pita energi yang lebar, memiliki sensitivitas dalam daerah UV, serta energi ikat eksiton yang tinggi yaitu 60 meV. Penumbuhan film tipis ZnO selama ini cenderung memerlukan biaya yang tinggi, namun pada penelitian ini telah dibuat film tipis ZnO menggunakan metode spray phyrolysys sederhana. Alat yang digunakan berupa nanospray dengan atomizer 200nm. Kelebihan dari metode ini adalah biaya pembuatan yang sangat murah, prosesnya mudah dan cepat. Selain itu dibuat sampel ZnO dengan variasi doping Cu (CZO). Film tipis ditumbuhkan pada substrat kaca dan silikon dengan struktur metal-semiconductor-metal (MSM). Sampel tersebut kemudian di karakterisasi menggunakan X-ray diffraction (XRD), energy X-Ray Fluorescence (XRF), UV-Visible spectroscopy (UV-Vis), scanning electron microscopy (SEM), dan I-V meter untuk mengetahui sifat struktur, sifat optik, morfologi, serta sifat listrik CZO. Doping Cu menurunkan ukuran kristal, menurunkan transmitansi, dan menurunkan energi gap. Pada saat pengukuran I-V, dilakukan dalam dua keadaan yaitu gelap dan penyinaran UV untuk mengetahui sensitivitas film terhadap sinar UV. Diperoleh sampel yang didoping Cu memiliki tinggi penghalang Schottky yang lebih tinggi, arus gelap dan terang yang lebih rendah, namun memiliki sensitivitas yang lebih tinggi dibandingkan ZnO murni. CZO 1,5% memiliki sensitivitas 97 kali lebih besar dibandingkan ZnO, sedangkan CZO 2,5% memiliki sensitivitas 12 kali lebih besar dibandingkan ZnO.

Publisher
Institut Teknologi Sumatera

URI
http://repo.itera.ac.id/depan/submission/SB1909180016

Collection
Fisika