[FISIKA - 2019] Fabrikasi dan Karakterisasi Film Tipis ZnO Di Doping Fe Dengan Metode Spray Pyrolysis Sederhana Untuk Aplikasi Fotodetektor UV
Fotodetektor merupakan divais penting pada hampir seluruh perangkat
optoelektronika yaitu pada sistem listrik dan optik. Fotodetektor UV berbasis ZnO
telah banyak diteliti dengan hasil sensitivitas yang tinggi. ZnO didoping Fe
dilakukan untuk meningkatkan sifat optik dan listrik. Fabrikasi film tipis FZO telah
dilakukan dengan metode spray pyrolysis sederhana dengan penggunaan alat
nanospray dengan atomizer 0,2 µm. Hasil karakterisasi XRD dan SEM
menunjukkan ukuran kristal dan ukuran bulir dengan skala nano. Hasil tersebut
sebagai dasar bahwa metode spray pyrolysis sederhana yang dilakukan telah
mampu menghasilkan film tipis dengan nanokristal yang sensitif terhadap cahaya
sehingga sesuai untuk aplikasi fotodetektor UV. Karakterisasi EDAX
mengkonfirmasi terdeteksinya unsur Zn dan Fe dalam film tipis yang dibuat.
Doping Fe terhadap ZnO telah menurunkan ukuran kristal dan ukuran bulir sebesar
20 nm. Doping Fe terhadap ZnO telah menurunkan energi gap pada doping
0,5%,1%, dan 1,5%. Sementara kenaikan energi gap terjadi pada doping 3%. Hasil
karakterisasi I-V menunjukkan doping Fe terhadap ZnO telah meningkatkan jumlah
konsentrasi elektron dengan didapatkannya sensitivitas yang lebih tinggi dari ZnO
pada aplikasi fotodetektor UV yaitu FZO 1,5% 21 kali lebih sensitif dari ZnO,
sementara FZO 3% 70 kali lebih sensitif dari ZnO.
URI
https://repo.itera.ac.id/depan/submission/SB1909180015
Keyword
Fotodetektor UV Fe ZnO spray pyrolysis