(0721) 8030188    pusat@itera.ac.id   

STUDI PENGEMBANGAN PEMBUATAN SPIN COATER UNTUK PENUMBUHAN MATERIAL ALDRICH LAPISAN TIPIS


Penelitian tugas akhir ini berfokus pada studi pengembangan pembuatan spin coater yang digunakan untuk menumbuhkan material lapisan tipis. Spin coater dibuat dari rangkaian catu daya DC linier dengan nilai tegangan keluaran variabel menggunakan IC LM317T sebagai peregulator untuk menggerakkan motor DC tipe fan merk NIHON. Nilai tegangan keluaran dari catu daya diukur dan ditampilkan oleh avometer dengan modul DSN VC-288. Spin coater yang telah dibuat kemudian diidentifikasi kinerjanya berdasarkan kestabilan dan kecepatan putaran spinner serta dengan menumbuhkan larutan TiO2 merk Aldrich diatas permukaan substrat kaca preparat yang kemudian dilakukan pengukuran ketebalan lapisan tipis yang dihasilkan. Hasil pengujian pada penelitian ini menunjukkan bahwa alat spin coater yang telah dibuat dapat menghasilkan kecepatan putaran maksimum dalam keadaan yang stabil selama dua menit pengukuran hingga 3478 rpm pada tegangan masukan sebesar 24 VDC. Ketebalan lapisan tipis TiO2 yang telah ditumbuhkan menurun seiring bertambahnya tegangan masukan yang diberikan dimana nilainya berturutturut adalah 585.25 μm, 447.82 μm dan 380.19 μm pada tegangan masukan 12 volt, 15 volt dan 18 volt.

Publisher
ITERA

URI
http://repo.itera.ac.id/depan/submission/SB1811140014

Collection
Fisika