[FISIKA - 2018] Studi Pengembangan Pembuatan Spin Coater Untuk Penumbuhan Material Aldrich Lapisan Tipis
View/Open
Author
Dana Laksono (11113001), FI2018001,
Advisor
Prof. Toto Winata, Ph.D., Deska Lismawening P, S.Si., M.Sc., Mahardika Yoga, S.T., M.Sc.,
Koleksi
Fisika
Publisher
Institut Teknologi Sumatera
Penelitian tugas akhir ini berfokus pada studi pengembangan pembuatan spin coater
yang digunakan untuk menumbuhkan material lapisan tipis. Spin coater dibuat dari
rangkaian catu daya DC linier dengan nilai tegangan keluaran variabel menggunakan
IC LM317T sebagai peregulator untuk menggerakkan motor DC tipe fan merk
NIHON. Nilai tegangan keluaran dari catu daya diukur dan ditampilkan oleh
avometer dengan modul DSN VC-288. Spin coater yang telah dibuat kemudian
diidentifikasi kinerjanya berdasarkan kestabilan dan kecepatan putaran spinner serta
dengan menumbuhkan larutan TiO2 merk Aldrich diatas permukaan substrat kaca
preparat yang kemudian dilakukan pengukuran ketebalan lapisan tipis yang
dihasilkan. Hasil pengujian pada penelitian ini menunjukkan bahwa alat spin coater
yang telah dibuat dapat menghasilkan kecepatan putaran maksimum dalam keadaan
yang stabil selama dua menit pengukuran hingga 3478 rpm pada tegangan masukan
sebesar 24 VDC. Ketebalan lapisan tipis TiO2 yang telah ditumbuhkan menurun
seiring bertambahnya tegangan masukan yang diberikan dimana nilainya berturutturut
adalah 585.25 μm, 447.82 μm dan 380.19 μm pada tegangan masukan 12 volt,
15 volt dan 18 volt.
URI
https://repo.itera.ac.id/depan/submission/SB1811140014
Keyword
Material Lapisan Tipis Rangkaian Catu Daya TiO2 Spin Coater